Local Scrubber半導體尾氣處理設備
等離子水洗Local Scrubber設備，用于去除半導體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或產生的PFC溫室氣體和有毒有害氣…【查看應用案例】
產品價格：非標品
產品品牌：GREENSTAR
生產廠家：安徽格林斯達環保設備有限公司
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等離子水洗Local Scrubber設備，用于去除半導體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或產生的PFC溫室氣體和有毒有害氣體，如：CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。
Local Scrubber工作原理
通過直流電源，使工作氣體（氮氣）進入等離子體反應器，在正負極強電流的作用下，被電離成等離子體，瞬間產生巨大的火焰，產生的高溫火焰將廢氣分解。
Local Scrubber設備優勢
- 去除效率高，不需要燃料和熱源，耗能低；
- 處理高沸點廢氣，應用范圍廣；
- 高溫、反應速度快，
- 設備占地面積小、便于安裝；
本裝置的直流電弧等離子體為非轉移型，兩電極區域不參與反應，只產生等離子體，產生的火焰溫度可達3000度以上。
等離子反應器的MTBF大于1年，反應室內腔的材質耐熱和耐腐，具有四個進氣口，裝置具備冷卻區、噴淋區及兩級填料除霧區，對PFC溫室氣體的去除效率>90%。
Local Scrubber性能參數
| 去除效率 | CF4>90%@150slm、NF3>95%@300slm |
| MTBF | >6months; |
| MTTR | <1.5hr |
| 材質 | 內腔PTEE、水箱CPVC |
| 等離子弧使用壽命 | >1year |
| 尺寸（mm） | 800*800*1850 |
| 進氣口 | NW50*4 |
| 耗能 | 12kw for CF4>90%;9kw for NF3>95% |
| 水量 | <4slm |
Local Scrubber生產廠家
格林斯達環保集團，工藝廢氣治理系統解決方案提供商，提供廢氣治理一站式服務（方案規劃設計、設備生產及安裝、系統運行調試、智慧運維）。如您有Local Scrubber采購需求，即刻聯系我們吧！服務熱線：138-1114-8535（同微信）/ 400-9655-098。
