氟化物廢氣怎么處理？半導體產業氟化物廢氣處理方法介紹
- 格林斯達環保集團
- 擅長：14年廢氣治理經驗，提供方案及設備，助力企業廢氣達標排放
半導體行業在器件生產環節即硅片清洗、刻蝕、去膠等工藝節點，因為使用氟氫酸來清除硅片表面的氧化物，其過程會排放氟化物廢氣。該廢氣是一種具有腐蝕性的酸性廢氣，必須經廢氣處理設備凈化后才能排放。那么，氟化物廢氣怎么處理？格林斯達環保公司為您提供氟化物廢氣處理方法介紹：
氟化物廢氣處理
集成電路制造行業的氟化物廢氣處理，格林斯達環保公司設計的廢氣處理方案，氟化物廢氣治理濕法凈化技術工藝，通常采用水、堿性溶液來吸收氟化物，即廢氣堿洗。
半導體行業氟化物廢氣處理方法
對于半導體密閉車間機臺的氟化物廢氣通過吸氣罩進行收集，由耐腐蝕風機的負壓動力吸入排氣風管，再送進連接一體的洗滌塔 對廢氣進行噴淋堿洗，直zhi氣體達標后從煙囪高空排出。
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