硅烷氣體怎么處理？半導體硅烷廢氣處理方式及工藝流程
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硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更g級的硅氫化合物，通式為SinH2n+2。其中，甲硅烷z為常見，有時也將甲硅烷簡稱為硅烷。那么你知道硅烷氣體怎么處理嗎？硅烷廢氣處理方式方法有哪些嗎？工藝流程。下面格林斯達環保為您做簡單介紹：
硅烷廢氣處理方法
硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，反應性和自燃性強烈，有非常寬的自發著火范圍和極強的燃燒能量，毒性很大，如果人體吸入硅烷就會強烈刺激呼吸器官，是一種高危險性的氣體。
在半導體工廠中，因工作區域一般離中心廢氣處理系統遠，為了避免在冗長的排氣過程中引發非預期的氣體泄漏，局部聚積等問題，硅烷（SiH4）廢氣從無塵室機臺端(POU)反應被排放出后，即先由真空Pump抽z廢氣處理設備Local Scrubber做處理，待處理過后的氣體再接續到廠務端做第二道處置。
（格林斯達環保Local Scrubber設備）
通過直流電源，使工作氣體（氮氣）進入等離子體反應器，在正負極強電流的作用下，被電離成等離子體，瞬間產生巨大的火焰，產生的高溫火焰將廢氣分解。優勢在于去除效率高，不需要燃料和熱源，耗能低； 處理高沸點廢氣，應用范圍廣； 高溫、反應速度快， 設備占地面積小、便于安裝；
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