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半導體制程清洗工藝廢氣治理方案(半導體行業酸堿廢氣處理解決方案)

環保領域專家
  • 格林斯達環保集團
  • 擅長:14年廢氣治理經驗,提供方案及設備,助力企業廢氣達標排放

半導體制程工藝清洗過程中,因使用了大量無機物,直接產生了許多有害物質,如果這些廢氣不經過尾氣處理設備對其進行處理,將會產生較大的環境污染。那么半導體廠尾氣處理方法有哪些?格林斯達環保公司為您提供的半導體制程清洗工藝廢氣治理方案(半導體行業酸堿廢氣處理解決方案)如下:

半導體廢氣成分

半導體產業中的酸性廢氣主要來源于清洗工序,其中使用的清洗劑溶劑中含有大量酸性廢氣,主要廢氣成分為硝酸、硫酸、氫氟酸等,在制程工藝過程中,這些大部分通過揮發成為廢氣排放。

半導體廢氣處理方案

半導體酸廢氣處理主要采用方法:噴淋法。

我司根據半導體企業情況,對酸性廢氣主要采用堿液體二級噴淋法,又稱化學洗滌法。因液體自身具有的溶解特性,可以更好地利用酸堿中和去除污染物,而達到大氣排放標準,故噴淋法是半導體行業酸堿廢氣治理普遍采用的主要處理方法。

噴淋洗滌塔工藝

噴淋洗滌塔

通過集氣系統及設備直接連接將廢氣收集起來,在風機的作用下將酸堿廢氣不間斷的向噴淋塔輸送,再經過通風管道的輸送作用,使廢氣輸送到系統的噴淋塔內,氣體在噴淋塔塔內經過堿性洗液的噴淋洗滌過程,廢氣中所含有的容易產生酸霧的氣體成份充分與堿性水霧接觸混合并且發生中和反應,并且形成較好的氣液兩相交和。經過噴淋后的水霧再在洗滌塔內的填料層內形成一個多孔接觸面較大的處理層,從而進一步對酸霧進行治理。

加藥罐

以上就是《半導體制程清洗工藝廢氣治理方案(半導體行業酸堿廢氣處理解決方案)》的全部內容,希望對您了解半導體酸堿廢氣處理有所幫助。


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